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鎖定先進封裝與真空製程 億仕登精密系統於 2026 台北自動化展推出兩大新品

火報
火報
Published: 2026/08/20
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9 Min Read
鎖定先進封裝與真空製程 億仕登精密系統於 2026 台北自動化展推出兩大新品

因應先進封裝及高精密製程設備的需求,億仕登精密系統(ISDN Precision System)將於今年(2026)台北國際自動化工業大展(攤位:K628)推出兩項新品,包括專為後段封裝開發的「ApexTwin(TM) MFF 雙龍門高速精密平台」,以及針對真空製程設備開發的「真空薄型高精密模組」,從大尺寸基板製程到真空環境下的精密定位,展現其在線性馬達、精密運動控制及機電整合上的產品布局。

鎖定先進封裝與真空製程 億仕登精密系統於 2026 台北自動化展推出兩大新品

雙龍門並行架構 ApexTwin(TM) 對應大尺寸先進封裝

不同於單龍門架構,ApexTwin(TM) 採用雙龍門並行設計,可同時執行兩組製程循環,提高設備運行效率。平台搭配該公司自製線性馬達,並整合以色列高階運動控制器形成雙驅動架構,展現六軸同步控制能力,並達到50ms @ 0.1 mm in ±300 nm的整定表現。

振動控制亦納入設計之中,ApexTwin(TM) 搭配倉敷化工(KURASHIKI KAKO)Type-C 主動式除振台,過濾外界振動。

真空薄型高精密模組 單軸最薄33mm對應有限空間

此模組針對半導體及醫療等真空製程設備開發。由於真空環境缺乏空氣對流,運動元件運行時產生的熱能不易排出,熱管理成為影響設備穩定性的因素之一。

億仕登精密系統將線性馬達散熱技術導入模組設計,在有限散熱條件下維持穩定運作。模組單軸最薄 33 mm,可應用於設備內部安裝空間有限的高精密設備,例如晶圓檢測對位、晶圓研磨前精密對位,以及醫療植體真空鍍膜精密對位等應用。

億仕登精密系統表示:「面對高階製程持續發展,設備商對精密運動與整合技術的需求也日益提升。我們此次推出的兩項新品,對焦『大尺寸、高速穩定運動』與『真空、薄型化精密定位』的市場需求。延續以線性馬達為核心的產品技術,並整合運動控制、除振及機電整合的技術,為設備商提供從核心運動元件至精密平台的產品選擇。」

為進一步展示技術實力與應用潛力,億仕登精密系統於8月19日至8月22日在台北國際自動化工業大展展出。歡迎產業賢達蒞臨南港展覽館一館1F(攤位:K628),現場將有專業技術團隊提供解說與技術諮詢,共同探索先進製程的未來商機。

新加坡億仕登控股集團 (SGX: I07) 自1987年成立以來,深耕工業自動化領域近40年,憑藉深厚的運動控制與專業工程實力,在東南亞建立堅實市場地位,旗下近百家子公司遍布亞洲,成功攜手萬家客戶完成無數大型自動化專案。

億仕登精密系統(ISDN Precision System)在台研發、生產線性馬達、高精密平台,為高精密產業提供專案導向的機電整合設計服務。從亞洲核心出發,迅速開展國際網絡,精準服務國內外每一位客戶。

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