圖/LUX液態氫系統革新供氫模式，提升晶圓廠空間效益。（圖／LUX）
【焦點時報／記者蔡宗憲報導】隨著晶圓製程持續朝先進製程邁進，超高純度氫氣已成為半導體製造不可或缺的重要關鍵。在晶圓製造過程中，晶圓廠供氫方式都是由外部供應商透過高壓槽車運送5N（99.999%）純度氫氣至廠區，再經由晶圓廠自行進一步純化，以符合先進製程需求。此種做法不僅需要大量高壓儲存設備，也增加物流運輸、供應鏈及廠務管理等挑戰，一旦遭遇天然災害、交通中斷或供應鏈波動，都可能影響氫氣供應穩定性，也讓企業在供應韌性與安全管理方面面臨更多挑戰。
看準半導體產業對供應韌性、安全性及永續發展的需求，英國氫能新創LUX推出全新液態氫解決方案，透過低溫液態儲存與現場高純度供氫，不僅可降低運輸及儲存風險，也能減少廠內純化設備投資與維運成本，同時提升供氫穩定性，協助半導體業者打造更具韌性與永續性的氫氣供應架構。
LUX執行長Samuel Dallimore表示，傳統依賴高壓槽車配送廠內，再自行純化的供氫模式，已成為晶圓廠在供應鏈韌性與營運效率上的挑戰。LUX液態氫技術是透過低溫液態儲存與現場高純度供氫，不僅可降低運輸及儲存風險，也能減少廠內純化設備投資與維運成本，同時提升供氫穩定性，協助半導體業者打造更具韌性與永續性的氫氣供應架構。
LUX在推出全新液態氫解決方案之外，也透過台英創新產業研究人員移地研究計畫 UK-TW Innovative Industries Programme（I²P），與工研院及台灣半導體產業合作，希望藉由台灣完整的半導體生態系，加速技術驗證、產品優化及市場導入，讓液態氫技術更快邁向商業化應用，同時將相關解決方案推向全球市場。
圖/液態氫系統導入場域，展現高效儲氫與供氫應用潛力。（圖／LUX）
整合製氫、液化與供氣 LUX T-100重新定義供氫模式
看準半導體產業對超高純度氫氣的需求，總部位於英國牛津的LUX，專注於深低溫工程技術領域多年，成功開發可大幅提升液化效率的新型熱交換解決方案，讓液態氫首次能夠透過貨櫃化設備，於應用場域完成製氫、液化、儲存及供氣，可望重新定義半導體產業的供氫模式。待技術完成驗證並邁向商業化後，晶圓廠將不再需要依賴外部供應商高壓槽車運送氫氣，而是可直接在廠區內完成氫氣製備、儲存與供應，打造「廠內生產、就地儲存、按需供應」的新模式，進一步提升供應自主性、空間使用效率與整體營運韌性。
LUX首款產品LUX T-100系統將水電解製氫、液態氫液化、低溫儲存及按需汽化供氣整合於單一貨櫃化系統中，以便能直接於使用現場生產與使用，不僅縮短供應鏈，也降低對外部物流及運輸排程的依賴。加上液態氫具有更高的儲存密度，所需空間僅約為傳統氣態系統的四分之一，對於寸土寸金、廠務空間配置極為嚴謹的晶圓廠而言，可望有效提升空間利用效率，也為未來產能擴充保留更多彈性。
Samuel Dallimore表示，台灣擁有全球最完整成熟的半導體產業聚落，同時也是全球超高純度氫氣需求最集中的市場之一，因此自公司成立以來，便將台灣視為最重要的海外發展據點。然而，半導體產業向來重視長時間運轉驗證、供應可靠性及既有供應鏈合作關係，即使擁有創新技術，新創企業仍需要透過實際場域驗證，才能取得客戶信任並進一步導入量產應用。
在前瞻科技驅動下，跨國合作已成為創新落地的關鍵引擎。LUX透過 I²P計劃順利與台灣半導體生態系對接，大幅縮短市場驗證及合作媒合的時間。
英國在台辦事處攜手工研院助LUX接軌台灣半導體需求
英國在台辦事處(British Office Taipei)串聯英國創新企業與國際合作資源；藉由I²P協助英國企業與台灣研究機構促成國際合作關係，工研院則提供技術展示、場域驗證及產業鏈媒合等資源，讓創新技術得以更快速與半導體實際需求接軌。
相較於企業自行開拓海外市場通常需要3至5年，I²P串聯台灣研究機構、產業夥伴與實際應用需求，協助LUX快速取得第一線產業回饋，大幅縮短需求確認、產品驗證與市場導入時程。這不僅展現I²P加速英國創新技術落地台灣的關鍵作用，也為企業建立在地合作網絡與後續商業拓展基礎。
未來，LUX將持續透過I²P深化與台灣半導體產業的合作，加速液態氫技術從實驗室走向量產現場，為晶圓廠打造更具韌性與永續性的供氫模式。
